CM-4簡(jiǎn)易探針臺(tái)
◆ 臺(tái)體規(guī)格：
| 尺寸 | 4英寸/6英寸 |
| 水平旋轉(zhuǎn) | 可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
| X-Y移動(dòng)行程 | 2英寸*3英寸 |
| X-Y移動(dòng)精度 | 10微米 |
| 樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié) | 可升降10mm |
| 樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
| 針座平臺(tái) | 左右各一個(gè)針座平臺(tái)，最多可放置6個(gè)探針座 |
| 背電極測(cè)試 | 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極 |
| 外形尺寸 | 400mm長(zhǎng)*380mm寬*500mm高 |
| 重量 | 約20千克 |
◆ 光學(xué)系統(tǒng)：
| 顯微鏡類(lèi)型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
| 放大倍率 | 16X-200X |
| 移動(dòng)行程 | 水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm |
| 光源 | 外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源 |
| CCD | 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素 |
◆ 定位器：
| X-Y-Z移動(dòng)行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移動(dòng)精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 線(xiàn)纜 | 同軸線(xiàn)/三軸線(xiàn) |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類(lèi)型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線(xiàn)端子 |
| 針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 針尖材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅 |
◆可選附件：
| 加熱臺(tái) |
| 顯示器 |
| 轉(zhuǎn)接頭 |
| 射頻測(cè)試配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光學(xué)平臺(tái) |
| 鍍金卡盤(pán) |
| 光電測(cè)試配件 |
應(yīng)用案例：
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